脉冲激光沉积系统加热台及靶材系统（清设比选20200782号）采购公告
2020-10-19 11:06:57 admin 414
脉冲激光沉积系统加热台及靶材系统（清设比选20200782号）采购公告
| 采购项目名称 | 脉冲激光沉积系统加热台及靶材系统 | 采购项目编号 | 清设比选20200782号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | 2020-07-09 17:42:55 | 公告截止时间 | 2020-07-12 18:00:00 |
| 采购单位 | 清华大学 | 付款方式 | 合同签订后付款50%,验收合格后一周付尾款50% |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 |
| 签约时间要求 | 成交后15个工作日 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后60个工作日 |
| 最高限价 | 未公布 | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学逸夫技术科学楼A517 | ||
| 供应商特殊资质要求 |
无 |
||
采购清单1
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 脉冲激光沉积系统加热台及靶材系统 | 1 | 台 |
| 技术参数及配置要求 |
1. 加热系统：电阻加热，安装在DN160CF法兰上，包含接收器和可拆卸加热元件。加热台尺寸1英寸，最高温度900℃，通过热电偶测试加热台内部温度。安装手动控制挡板，可在清洗靶材时阻止在基片上沉积。安装法兰中与热电偶连接，包含加热电源和挡板的旋转驱动器。 2. 加热台Z方向移动控制：Z方向移动控制装置集成在加热台中，改变加热台与靶材之间的靶基距；移动范围50毫米，可在该范围内自由选择靶基距。 3. 靶材系统：安装在6" O.D. CF法兰盘上，该法兰安装在沉积腔体中的一侧。共有4个不同的靶位，包含6个安装和15个安装板用于旋转。靶材最大直径1英寸，安装有盾牌以尽量减少不同靶材之间的交叉污染。安装法兰上包含步进马达控制靶材公转以选择不同靶材，同时直流马达控制靶材自转。 4. 电动控制加热台及靶材系统：控温装置可调节加热台的输出功率，以调节加热台的电流，步进马达可控制靶材选择，直流输出控制靶材自转。以上所有电动控制可通过软件控制，如靶位选择、自转、摆动及激光触发控制。 利用软件中的自动程序设置可控制靶材选择及触发设定的激光参数，可实现多层膜的自动沉积。 |
|---|---|
| 质保期 | 12个月 |
清华大学
2020-07-09 17:42:55
